機器概要_E003 ツイート E003 スプレーコーター(立体レジスト塗布装置) 規格:三明電子産業(株) ?DC111 概要: 付帯条件:厚膜形成の場合は,消耗量が多いため基本的にレジストを利用者が持参すること。 注意事項:精密で高価な装置のため,1回の講習だけで独自操作はできない。運営では,数回付き添っての確認をしている。レジストはSU-8限定。 利用料金:運転料 2500円/時間、消耗品料 要相談(作製する膜厚による)